SEM分析技术在纳米材料表征中的应用

SEM分析技术在纳米材料表征中的应用                     摘 要 本文介绍了冷场发射扫描电子显微镜（SEM）以及X射线能谱分析仪（EDS）的主要分析原理、分析方法，并简要介绍了SE