电沉积铜薄膜中织构与内应力的研究

电沉积铜薄膜中织构与内应力的研究一、内容综述近年来，随着电子工业的迅猛发展，对于功能性电镀层的需求也日益增加。尤其是电沉积铜薄膜，由于其具有高导电性、良好的贴合性以及低成本等优点，已广泛应用于电路、导