立方晶型氮化硼制备新工艺

立方晶型氮化硼制备新工艺标题：立方晶型氮化硼制备新工艺摘要：氮化硼是一种重要的结构陶瓷材料，具有许多优越的性能，例如高硬度、高熔点、良好的热导性和电绝缘性等。然而，传统的氮化硼制备工艺存在一些问题，如

立方晶型氮化硼制备新工艺 标题：立方晶型氮化硼制备新工艺 摘要： 氮化硼是一种重要的结构陶瓷材料，具有许多优越的性能，例如高 硬度、高熔点、良好的热导性和电绝缘性等。然而，传统的氮化硼制备 工艺存在一些问题，如低产率、高能耗和较高的制备温度等。为了解决 这些问题，本文研究了一种新的立方晶型氮化硼制备工艺，并对其工艺 参数进行了优化。结果表明，该制备工艺在提高产率，降低能耗和制备 温度方面具有显著的优势。本研究为氮化硼制备工艺的进一步改进提供 了有力的参考。 关键词：氮化硼；立方晶型；制备工艺；优化；产率 1.引言 氮化硼是一种重要的陶瓷材料，在许多领域中有广泛的应用。它具 有极高的硬度、优异的导热性能和化学稳定性，被广泛应用于高温和高 压环境中的切削工具、陶瓷材料和电子元件等领域。然而，传统的制备 工艺包括燃烧合成和氮化还原等方法存在一些问题，如低产率、高能耗 和较高的制备温度等。 2.立方晶型氮化硼制备工艺及原理 立方晶型氮化硼是氮化硼的一种晶体结构，具有更高的硬度和热导 性能。因此，发展一种可行的制备工艺具有重要的理论和实际意义。本 研究基于化学气相沉积（ChemicalVaporDeposition,CVD）工艺，采 用低温热解和氮化反应两步法制备立方晶型氮化硼。 3.制备工艺优化 为了提高立方晶型氮化硼的产率和降低能耗，本研究对制备工艺的 参数进行了优化。首先，确定了较佳的沉积温度和气体流量。通过调整