基于变步长局域电沉积法的纺锤形微铜柱制备

基于变步长局域电沉积法的纺锤形微铜柱制备一、引言纺锤形微铜柱在微电子、微器件等领域具有广泛的应用前景，其制备方法的优劣不仅影响其性能，而且会影响其制备效率和成本。因此，如何高效制备出高质量的纺锤形微铜