自动喷水灭火系统在制程排气系统中之应用

自动喷水灭火系统在制程排气系统中之应用    【摘要】本文借鉴国内外有关规范标准，探讨半导体产业类工厂常见之制程排气系统之特殊性及其消防应对措施配置。【关键词】制程排气系统；风管；洗涤塔；化学腐蚀TU