微电子教授讲座论文

微电子技术是建立在以集成电路为核心的各种半导体器件基础上的高新电子技 术，特点是体积小、重量轻、可靠性高、工作速度快，微电子技术对信息时代 具有巨大的影响。1微电子技术的发展历史和现状微电子技术是19