单晶炉维护与修理供参习

单晶炉维修和保养规程一、坩埚轴驱动部件的维修：坩埚轴驱动部件是设备的核心部件，要求各种精度都比较高，要加强维护，坩埚轴是多晶硅料的支撑轴，其精度高，工艺复杂，应重点维护。1、要经常检查其冷却水的情况，