微机械电子技术

微机械电子技术微机械电子技术摘要：微机械电子技术（MEMS）是一种集微机械制造与电子技术于一体的交叉学科，是20世纪90年代以来快速发展的新兴技术领域。本文主要探讨了微机械电子技术的概念、原理、应用以