自支撑硼掺杂金刚石膜残余应力和微观应力的xrd分析

万方数据第23卷第3期 9年6月 1．吉林大学测试科学实验中心长春130012 2．吉林大学超硬材料国家重点实验室长春130012 摘要 利用XaD(包括8in。tf，法)研究了电子辅助热灯丝化学气相