Zn在InP中低温扩散的研究

Zn在InP中低温扩散的研究导论半导体材料的性能有限，需要进行掺杂、薄膜沉积等处理才能形成具有特定电性质的半导体材料。其中，掺杂是将掺杂剂引入单晶半导体中以改变其电子结构，从而提高其电性能的过程。半导