DLTS-深能级瞬态谱

深能级瞬态谱深能级瞬态谱（Deep Level Transient Spectroscopy）是半导体领域研究和检测半导体杂质、缺陷深能级、界面态等的重要技术手 段。根据半导体P-N 结、金-半接触结