基于表面应力的MEMS生物传感器研究的开题报告

基于表面应力的MEMS生物传感器研究的开题报告一、研究背景与意义MEMS（微机电系统）是一种将微米级尺度的机械、电子、光学、磁学等多种功能集成到同一芯片上的技术，因其小型化、智能化、集成化等特点，在生