MEMS气体压力传感器的系统级封装（SiP）技术研究

南昌大学硕士学位论文MEMS气体压力传感器的系统级封装（SiP）技术研究姓名：陈思远申请学位级别：硕士专业：机械设计及理论指导教师：罗玉峰20070602摘要 摘要 压力传感器是MEMS技术的重要应用