低温等离子体技术应用研究进展

低温等离子体技术应用研究进展1、引言等离子体作为物质存在的第四态不仅已为人们所认识，而且等离子体技术已进入广泛的实际应用领域[1-26]。等离子体指部分或完全电离的气体，且自由电子和离子所带正、负电荷