自动阻抗匹配器检测电路设计及匹配算法研究

中国科学技术大学硕士学位论文自动阻抗匹配器检测电路设计及匹配算法研究姓名：刘东宇申请学位级别：硕士专业：检测技术与自动化装置指导教师：程健20100501摘要 摘要 自动阻抗匹配器是射频耦合等离子体设