n型硅脉冲激光掺铟的物理过程与缺陷特性研究

n型硅脉冲激光掺铟的物理过程与缺陷特性研究标题：n型硅脉冲激光掺铟的物理过程与缺陷特性研究摘要：本文研究了n型硅中掺入铟的物理过程以及与缺陷特性的关系。通过实验方法和模拟分析，我们发现铟掺杂对硅材料的