精密与超精密加工技术

第二章 精密与超精密加工技术 一．概述 二．超精密切削加工技术 三．超精密磨削技术 四．超精密研磨抛光技术 五、超精密加工装备与环境一、概述 1、精密和超精密加工技术的发展是从上世纪 70年代开