蓝宝石、硅、碳化硅衬底材料比较

・蓝宝石（AI2O3）,硅（Si）,碳化硅（SiC） LED衬底 材料的选用比较・通常，GaN基材料和器件的外延层主要生长在蓝宝石 衬底上。蓝宝石衬底有许多的优点：首先，蓝宝石衬 底的生产技术成熟、器