2021年薄膜物理与技术要点总结

第一章最可几速率：依据麦克斯韦速率分布规律，能够从理论上推得分子速率在处有极大值，称为最可几速率,Vm速度分布平均速度:，分子运动平均距离均方根速度:平均动能真空划分：粗真空、低真空、高真空、超高真空