上虞晶盛单晶炉操作说明书

第一章 单晶生长条件1.1 设备要求1.1.1 运行条件（以下以 TDR-85A-ZJS 炉为例，其余炉型要求参照说明书）（1）冷却水要求水压：炉子进出水压差要求介于 2~3 公斤之间，真空泵进出水