四探针法测量电阻率和薄层电阻

四探针法测量电阻率和薄层电阻一、引言电阻率是半导体材料的重要参数之一。电阻率的测量方法很多，如三探针法、霍尔效应法、扩展电阻法等。四探针法则是一种广泛采用的标准方法，其主要优点在于设备简单、操作方便、