直流磁控溅射法制备铝铬共掺杂氧化锌薄膜及其结构和光电性能的研究

直流磁控溅射法制备铝铬共掺杂氧化锌薄膜及其结构和光电性能的研究近年来，随着氧化锌材料在照明、显示、传感、太阳能电池等领域的应用日益扩大，对其光电性能的研究也越来越引起人们的关注。在这一领域中，铝铬共掺