金属基微继电器加工工艺基础研究

金属基微继电器加工工艺基础研究金属基微继电器加工工艺基础研究摘要：金属基微继电器是一种新型的微继电器，具有小尺寸、高灵敏度和低功耗等特点。本文主要对金属基微继电器的加工工艺进行基础研究，从材料选择、加