基于AFAM纳米多孔氧化硅薄膜超声幅值成像的试验研究

基于AFAM纳米多孔氧化硅薄膜超声幅值成像的试验研究摘要本研究基于AFAM纳米多孔氧化硅薄膜超声幅值成像进行实验研究。研究采用纳米多孔氧化硅薄膜制备技术得到了不同孔隙率的氧化硅薄膜，通过铝电极制作成了