高In组分InGaAs薄膜的分子束外延生长及其表面分析

高In组分InGaAs薄膜的分子束外延生长及其表面分析高In组分InGaAs薄膜的分子束外延生长及其表面分析摘要：本文主要探讨了高In组分InGaAs薄膜的分子束外延（MBE）生长技术以及其表面分析方