中子活化分析法测定注入Si中的As剂量和浓度分布

中子活化分析法测定注入Si中的As剂量和浓度分布中子活化分析法测定注入Si中的As剂量和浓度分布摘要：在现代半导体领域中，将掺杂原子引入到硅晶体中以改变其电学性质是非常重要的。作为一种非破坏性的分析技