基于白光扫描干涉术的微结构大范围表征方法研究

基于白光扫描干涉术的微结构大范围表征方法研究概述在微纳米科技领域中，对微结构进行精准测量和大范围表征是非常关键的。白光扫描干涉术可以提供高分辨率和准确的表征数据，而且可以在大范围内实现表征，因此被广泛