应用于薄膜表面处理的电压源与电流源谐振变换器的对比研究的开题报告

应用于薄膜表面处理的电压源与电流源谐振变换器的对比研究的开题报告一、研究背景：薄膜表面处理是目前工业制造中较为重要的一个领域，如半导体工业中，对薄膜表面进行镀膜、氧化等工艺的处理，主要是为了增加器件表