单晶金刚石CMP工艺及在刀具刃磨中的应用的中期报告

单晶金刚石CMP工艺及在刀具刃磨中的应用的中期报告一、研究背景及意义单晶金刚石是一种应用广泛的超硬材料，其物理、化学、机械性能极为优异，是制备高效切削工具的理想材料。单晶金刚石制备工艺中的CMP（化学