压力传感器的发展论文

第 25 卷 1 期 半 导 体 杂 志压力传感器的发展 、 现状与未来张晓群1 ,2000 年 3 月Ξ吕惠民2( 1. 西安建筑科技大学信控学院 ,710055 ;2. 西安理工大学应用物理系 ,