电弧-磁控复合沉积TiSiN涂层及其切削性能研究

电弧-磁控复合沉积TiSiN涂层及其切削性能研究本文主要研究了电弧-磁控复合沉积TiSiN涂层及其切削性能。首先，对TiSiN涂层的复合制备进行了介绍，并探讨了不同工艺参数对涂层组织结构和性能的影响。