分子束外延生长GaN薄膜的新方法

分子束外延生长GaN薄膜的新方法随着半导体行业的发展，氮化镓(GaN)材料在LED、LD、功率电子器件等领域的应用越来越广泛。而氮化镓生长的方法中，分子束外延生长(MBE)作为一种高效、高性能、可控性