材料科学第三代半导体材料及制造工艺

- 第三代半导体材料〔宽禁带半导体材料〕 - Si为代表的，第一代半导体材料 GaAs为代表的，第二代半导体材料 SiC及GaN为代表的宽禁带材料，第三代半导体材料。包括