基于三维分子动力学的单晶硅斜向切削机理研究

基于三维分子动力学的单晶硅斜向切削机理研究摘要：本文通过基于三维分子动力学的模拟方法，研究了单晶硅斜向切削的机理。通过建立切削过程的模型，并对模型进行参数优化，得到了具有实际切削条件的模拟结果。通过分