MEMS宏模型建模理论与方法的研究的综述报告

MEMS宏模型建模理论与方法的研究的综述报告MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）是一种小型化的、集成化的微型电器机械系统，在数据处理、生命科学、通信等领域有着重要