电子束光刻+++纳米图形发生器+++电子束曝光

电子束光刻/电子束曝光/NPGS纳米图像电子束曝光系统 NPGS电子束曝光系统是利用计算机控制电子束成像电镜及偏转系统,聚焦形成高能电子束流,轰击照射涂有高分辨率和高灵敏度化学抗蚀剂的晶片直接描画或投