高性能MEMS电化学地震检波器设计与制作

高性能MEMS电化学地震检波器设计与制作高性能MEMS电化学地震检波器设计与制作摘要：地震是一种具有巨大破坏能力的自然灾害，对社会经济和人类生存产生了巨大威胁。地震检波器是地震监测系统中重要的组成部分