基于AZO的光谱选择性反射膜制备及其在聚光器中的应用研究

基于AZO的光谱选择性反射膜制备及其在聚光器中的应用研究摘要：本文针对近年来日益广泛使用的聚光器反射镜的光谱选择性要求，开展了基于氮掺杂的氧化锌（AZO）的光谱选择性反射膜制备及其在聚光器中的应用研究

AZO 基于的光谱选择性反射膜制备及其在聚光器中 的应用研究 摘要： 本文针对近年来日益广泛使用的聚光器反射镜的光谱选择性要求， 开展了基于氮掺杂的氧化锌（AZO）的光谱选择性反射膜制备及其在聚 光器中的应用研究。通过溅射方法制备了AZO薄膜，并利用扫描电镜和 X射线衍射分析了膜的表面形貌和晶体结构。通过光谱测试表征了AZO 膜的反射率、透射率和光谱选择性。接着设计制备了聚光器反射镜，采 用AZO膜作为反射层，通过测试验证了该反射镜的光学性能和稳定性。 关键词：氧化锌，氮掺杂，溅射，反射膜，聚光器反射镜，光谱选 择性 引言： 随着科技的不断发展和人们对绿色环保的追求，太阳能等可再生能 源的应用不断增加。而聚光器作为一种集中太阳能的设备，其反射镜的 光谱选择性对其使用效果影响很大。因此，研究高效、稳定的光谱选择 性反射膜在聚光器反射镜中的应用具有重要意义。 近年来，氮掺杂的氧化锌（AZO）因其优良的光学特性和单价较低 的优点得到了广泛的应用。而基于溅射方法制备的AZO膜具有较高的透 过率和反射率，是一种常见的光谱选择性膜材料。在本研究中，我们采 用溅射方法制备了AZO薄膜，并结合光谱测试对其反射率、透射率和光 谱选择性进行了表征。接着，我们设计制备了聚光器反射镜，采用AZO 膜作为反射层，验证反射镜的使用效果和稳定性。 实验： 1.制备AZO薄膜