激光陀螺反射镜基片相关检测技术研究

激光陀螺反射镜基片相关检测技术研究 西安电子科技大学 硕士学位论文 姓名：高玫 申请学位级别：硕士 专业：光学工程 指导教师：刘继芳；单凡 20091020

------------------------------------------------------------------------------------------------ 激光陀螺反射镜基片相关检测技术研究 西安电子科技大学 硕士学位论文 姓名：高玫 申请学位级别：硕士 专业：光学工程 指导教师：刘继芳；单凡 20091020 摘要 摘要 超低损耗反射镜足影响激光陀螺性能的关键元件之一，为了实现 反射镜的低损耗，首先要加工出具有超光滑表面的反射镜基片。超光 滑表面的检测与评价技术在工艺技术中的作用越来越突出和重要。 反射镜基片超光滑表面质量检测主要包括：表面轮廓检测、表面 疵病检测、表面亚表层损伤检测等三个方面。本论文研究的重点是反 射镜基片表面轮廓检测技术，主要包括以下两个方面的内容： 一、反射镜基片表面微观形貌的检测技术。研究空间波长与表面 微观形貌的各种评价参数（如Ｉ洲Ｓ、ＰＳＤ、波纹度等）的关系， 并进行表面粗糙度常用评价参数（ＲＭＳ、ＰＳＤ等）的适用性研 究；同时对不同工艺方法所形成的表面微观形貌特征进行分析。 二、球面反射镜基片表面轮廓和曲率半径检测技术。在表面微观 ——————————————————————————————————————