基于梳齿间距MEMS工艺误差的微传感器电容与静电力分布模型

基于梳齿间距MEMS工艺误差的微传感器电容与静电力分布模型概述微传感器电容在微电子学和微机械学领域应用广泛。然而，由于MEMS工艺误差的存在，微传感器电容的设计和性能有很大的挑战。本文旨在介绍基于梳齿