平面惯性压电叠堆移动机构的研究

平面惯性压电叠堆移动机构的研究精密定位技术是精密制造、精密测量和精密驱动中的关键技术之一。而惯性压电驱动器以其独特驱动方式和优势已经发展成为压电精密驱动领域的一个重要分支。本文在分析了目前国内外惯性压