大气压射频放电等离子体活性粒子演化特性的数值模拟研究的开题报告
大气压射频放电等离子体活性粒子演化特性的数值模拟研究的开题报告一、选题背景大气压射频放电等离子体具有广泛的应用前景,例如激光器辅助电沉积、表面处理、光防反射、微处理、杀菌等领域。而等离子体中的活性粒子
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