机械致单轴应变SOI研究的开题报告

机械致单轴应变SOI研究的开题报告开题报告题目：机械致单轴应变SOI研究一、研究背景和意义随着微电子技术的发展，硅（Si）上发展了一种SOI器件，即硅上绝缘体器件，其优点是可提高器件性能、可靠性和集成