直流弧光放电PCVD金刚石膜制备中基底控温系统的研制与应用

直流弧光放电PCVD金刚石膜制备中基底控温系统的研制与应用摘要：本文研究了直流弧光放电PCVD金刚石膜制备过程中基底控温系统的设计与应用。通过理论分析和实验研究，得出了基底控温系统对金刚石膜制备的影响