氮氢等离子体处理对SiC MOS栅氧化层可靠性的影响的任务书

氮氢等离子体处理对SiC MOS栅氧化层可靠性的影响的任务书一、任务概述随着SiC功率器件的不断发展，其主动区域的功耗密度和结构复杂度逐渐增大，随之而来的是对SiC MOS栅氧化层可靠性的要求也越来越