平面电极型MEMS电化学振动传感器设计的开题报告

平面电极型MEMS电化学振动传感器设计的开题报告1. 研究背景和意义：MEMS（微电子机械系统）技术已经被广泛应用于传感器领域，其中电化学传感器作为MEMS传感器的一种重要类型，已经得到了广泛发展。电