用反应溅射法制备AlN薄膜及其特性表征的中期报告

用反应溅射法制备AlN薄膜及其特性表征的中期报告一、研究背景随着电子信息技术的发展，人们对高性能材料的需求越来越高，其中AlN薄膜作为一种优良的材料，在微电子、光电子等领域有着广泛的应用。反应溅射技术