惰性气体离子注入6H-SiC的力学性能与缺陷演化研究的任务书

惰性气体离子注入6H-SiC的力学性能与缺陷演化研究的任务书任务书一、背景介绍6H-SiC是一种广泛应用于微电子、光电子及高温结构领域的材料。然而在破坏或裂纹形成的条件下，其性能受到限制。因此，提高6