离子束增强沉积制备碳化硼及C-B-Ti化合物薄膜的结构与力学性能的研究

离子束增强沉积制备碳化硼及C-B-Ti化合物薄膜的结构与力学性能的研究随着科学技术的不断发展，针对材料的研究也越来越深入。其中，离子束增强沉积技术（Ion beam enhanced depositi