硅片线锯废砂浆中硅与碳化硅分离技术研究的中期报告

硅片线锯废砂浆中硅与碳化硅分离技术研究的中期报告1.研究背景与意义硅片线锯废砂浆是半导体产业的主要生产废弃物之一，其中含有大量的硅和碳化硅材料，具有较高的回收价值。然而，在传统的废弃物处理方式中，仅仅